装置专利能够高效准确地对外延反应腔室的温场进行调节AG旗舰赞助马竞联赛西安奕斯伟申请外延生长方法及

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　　西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请一项名为◁▼▽“外延生长方法及装置◆…▪”的专利□▽◁△☆，本平台仅提供信息存储服务□▪△△◁。金融界2024年12月10日消息◇◁◁，申请日期为2024年8月▲○。国家知识产权局信息显示▷◁△，特别声明▷★◆：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台…▪★“网易号▽▽◁”用户上传并发布□▪▪◆•，主站 商城 论坛 自运营 登录 注册 《冰汽时代2》制作组深度专访★■：不要成为选择的奴隶 海星罐头=★▼◁.…-◁△.○◆◁◆▲.公开号CN 119092422 AAG旗舰赞助马竞联赛◇◇，

　　《冰汽时代2》制作组深度专访-◇=◆○：不要成为选择的奴隶/

　　专利摘要显示☆▽○△▷▷，本发明提供了一种外延生长方法及装置△◇▷…■，属于半导体制造技术领域AG旗舰赞助马竞联赛◆●◇•。外延生长方法…◆◇，包括◆•：将晶圆送入外延反应腔室●▽◇●•，在所述晶圆上生长外延层○■▼◆•；获取所述外延层多个预设测试点位的电阻率○▽△▷，所述多个预设测试点位包括位于所述外延层中心的第一测试点位和其他测试点位□○●●△…；计算所述外延层的电阻率均一性△◆△☆△▽；在所述外延层的电阻率均一性大于预设阈值时□□☆☆节AG旗舰赞助马竞联赛西安奕斯伟申请外延生长方法及，将所述第一测试点位的电阻率与所述其他测试点位的电阻率进行比对-○◇，并根据比对结果对所述外延反应腔室的目标加热模组的功率进行调整△••○。本发明能够高效准确地对外延反应腔室的温场进行调节AG旗舰赞助马竞联赛■•■◁▽，改善外延晶圆的电阻率均一性□□▲装置专利能够高效准确地对外延反应腔室的温场进行调。

　　《编码物候》展览开幕 北京时代美术馆以科学艺术解读数字与生物交织的宇宙节律